臭氧氧化脱硝技术是在烟气进入脱硫塔前，利用臭氧强制氧化烟气中的 NOx，使其转化为易溶于水的高价氮氧化物，然后在脱硫塔里，溶于水生成硝酸，并与脱硫塔循环浆液中的碱性物质反应生成盐类，从而达到脱硝的目的。

采用臭氧氧化脱硝技术可得到较高的 NOx 脱除率，一般为 70%～90%，并且可在不同的 NOx 浓度和 NO、NO2 的比例下保持高 NOx 脱除率。在脱硫塔内，未与 NOx 反应的臭氧（O3）把亚硫酸盐氧化为硫酸盐而被除去，所以不存在类似 SCR 氨（NH3）逃逸一样的臭氧（O3）泄漏问题。

在臭氧氧化脱硝技术中，SO2 和 CO 的存在不影响 NOx 的去除，同时也不会影响其他污染物控制技术。以罗塔斯(LoTOx™)臭氧氧化技术为例，它是低温氧化脱硝技术(Low Temperature Oxidation)的一种。臭氧可以在现场由臭氧发生器直接生成。因为罗塔斯技术 (LoTOx™)是低温处理技术，故在流程中不需象 SNCR 和 SCR 一样较高温度的烟气。

这个流程不使用氨，因此避免了在下游热转换阶段出现硫酸铵/ 重硫酸铵的沉淀。罗塔斯技术(LoTOx™)甚至可以处理低于 300 ℉的烟气，它在湿洗系统里饱和温度下操作非常有效。